1、真空泵故障：真空泵發生故障，如密封不良或泵內部零件損壞，會導致油位減少。要對真空泵進行檢修或維修。
2、更換排氣過濾器：當更換排氣過濾器後，油位會略微下降，這被認為是正常現象。更換過濾器後，舊油和汙染物會被排出，導致油位下降。只要補充適量的新油即可。
3、油汙染：油中存在可凝性蒸汽汙染物，會導致真空度下降，進而引起油位減少。這時可以通過使用油氣分離器或更換新油來凈化油汙染物。
4、漏氣：泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等部位的漏氣也導致油位減少。要找到漏氣點並消除漏氣問題。