荷蘭，1
荷蘭是高端光刻機生產的領導者，其阿斯麥是全球最大的光刻機制造商，高端市場份額超過80%。阿斯麥EUV光刻機是最先進的光刻機之壹，主要用於世界領先的半導體制造商，如臺積電和英特爾先進。
3.日本
日本是繼荷蘭之前的另壹個光刻機生產大國，其中尼康和佳能是日本光刻機廠商的代表。尼康主要生產光刻機的光學系統，佳能則專註於生產光刻機的曝光系統。日本人在競爭路線的選擇上打敗了EUV光刻機，從此讓出了高端光刻和第壹強國的寶座。
3.美國
美國也是光刻機的生產國之壹，其中GCASystems是最具代表性的公司。GCASystems是壹家為光刻機生產激光光源和光學系統的公司，其產品應用於全球領先的半導體制造商。
4.韓國
韓國是另壹個重要的光刻機生產國，其中三星和海力士是韓國光刻機制造商的代表。三星和海力士是全球領先的半導體廠商，他們自己的光刻機主要用於自己的生產線。
5.中國
作為光刻領域的後起之秀，光刻機技術在過去幾年也取得了長足的進步，是少數幾個能夠自主生產光刻機的國家之壹。所生產的掩模對準器也廣泛用於芯片制造領域。但與荷蘭、日本、美國、韓國相比，中國的光刻機技術和市場競爭力還有壹定差距。