目前全球能制造光刻機的公司只有四家，分別是荷蘭的Asmel，日本的尼康和佳能，中國的上海微電子。這裏的掩模對準器是指euv/duv浸沒式掩模對準器。所以國內能制造光刻機的公司只有壹家，就是上海微電子，所以上海微電子排名第壹。
上海微電子公司簡介；
上海微電子是壹家半導體行業的上市公司，位於張江高科技園區。
公司成立於2002年，主要致力於大規模工業生產用投影光刻機的研發、生產、銷售和服務，IC制造和先進封裝，MEMS，TSV/3D，TFT-有機發光二極管等制造領域。
公司致力於為客戶提供高質量的產品、高端的產品、卓越的價值，全天候、全方位、全心全意地提供高質量的產品和技術支持與服務。