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光刻機哪些國家能做出來?

世界上只有中國、日本和荷蘭能制造光刻機。日本的代表企業是尼康和佳能。光刻機曾經是“王者”,但在荷蘭被阿斯麥超越後壹蹶不振。中國也能制造光刻機,但沒有頂級光刻機精細。

目前,荷蘭壹家阿斯麥公司幾乎壟斷了全球高端光刻機市場,主要是EUV光刻機,成本極高。暫時沒有競爭對手能比得上,每年穩定供應給大客戶。

掩模對準器的分類

光刻機按照操作的簡單程度壹般分為三種:手動、半自動和全自動。

1,手動:指對準的調整方式,即通過手動調整旋鈕改變其X軸、Y軸和thita角度來完成對準,對準精度不高。

2.半自動:是指可以根據CCD由電軸進行定位和調準。

3.自動:指從基板上傳和下載。曝光持續時間和周期由程序控制。自動光刻機主要滿足工廠對加工能力的需求。