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光刻機是幹什麽用的?

光刻機是壹種利用光線進行雕刻的機器,用來達到光線侵蝕光刻膠的目的。所以光刻機就是通過透鏡把壹個大的電路圖縮小到芯片的大小,然後用光腐蝕光刻膠,達到自動形成電路的目的。

掩模對準器是非常復雜的機器。目前在光刻機方面最有實力的廠商是荷蘭的阿斯麥,他們已經可以生產5nm線的光刻機。

掩模對準器的分類

光刻機按照操作的簡單程度壹般分為三種:手動、半自動和全自動。

手動:指對準的調整方式,通過手動調整旋鈕改變其X軸、Y軸和thita角度來完成對準,對準精度不高。

半自動:是指可以通過電軸根據CCD進行定位和調準。

自動:指從基板上傳和下載。曝光持續時間和周期由程序控制。自動光刻機主要滿足工廠對加工能力的需求。