超純水是指純度極高的水。這是壹種工業用水，是用於清洗半導體原料和集成電路工業用器皿、制備光刻掩膜和氧化矽片的水蒸氣源。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等。也應該用超純水。
使用
非常純凈的水。在集成電路行業，用於清洗半導體原料和使用的器皿，制備光刻掩膜和矽片氧化的水蒸氣源。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等。也應該用超純水。
超純水是普通工藝難以達到的。采用預處理、反滲透、超凈化、後處理四個步驟，多級過濾、高效離子交換裝置、超濾過濾器、紫外燈、TOC去除裝置等多種處理方法，電阻率可達18。