微波爐工作時，光源和磁控管可以同時啟動。兩者既可獨立使用，也可組合使用，所有功能均由最新高科技數字控制。在應用中，它可以通過微波、單獨通過光波、以及通過光波和微波的組合來操作。所以微波爐是兼容微波爐功能的。
結構上，光波爐在爐腔上部裝有光波發射器和光波反射器。光波反射器可以保證光波的聚焦熱能在最短的時間內最大化，這也是光波爐與普通微波爐在結構上的重要區別。與微波爐相比，光波爐具有加熱速度快、加熱均勻、最大限度不損失食物中的營養成分等諸多優點。光波微波組合爐的主要目的是大幅度提高微波爐的加熱效率，在烹飪過程中最大限度的附著食物的營養成分，最大限度的防止烹飪食物時水分的流失。
微波爐與微波爐的另壹個區別是，微波爐的燒烤管由石英管或銅管改為鹵素管(即光波管)，能快速產生高溫和熱量，冷卻速度快，加熱效率更高，不會燒焦，從而保證了食物的顏色。從成本上來說，光波管的成本只比銅管或石英管多幾塊錢，所以光波管在微波爐技術中的應用現在已經很普遍了。
就目前市面上買的微波爐原理來說，微波爐都是光波和微波的組合爐，也就是光波微波爐。使用時，光波只是微波爐的輔助功能，只作用於燒烤。如果沒有微波爐，微波爐只是相當於普通烤箱的烤箱。所以基本上這個最新的微波爐是微波爐的升級產品，可以很好的輔助微波爐的使用，快速加熱。微波爐沒有微波爐是沒有辦法單獨使用的，分離出來的微波爐只是壹個烤箱。