x射線光電子能譜(XPS)是壹種先進的電子材料和元件微觀分析技術。XPS或ESCA是X射線作為激發光源的縮寫。
XPS不僅為化學研究提供分子結構和價態信息，還為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、化學狀態、分子結構和化學鍵等信息。
X射線光子的能量在1000 ~ 1500 ev之間，既能電離分子的價電子，又能激發內部電子，內部電子的能級受分子環境影響很小。
同壹原子的內電子結合能在不同分子中差別不大，所以具有特征性。入射到固體表面的光子激發光電子，用能量分析儀分析光電子的實驗技術稱為光電子能譜。